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真空漏孔的校准步骤――比拟法

文章出处:泰兴市泰德立通用机械制造有限公司

真空漏孔的校准步骤――比拟法

比拟法校准真空漏孔时,要将从真空漏孔流出的气体产生的效应与参考规范相比。为防止测量仪器的非线性和漂移带来的误差,参考规范应与真空漏孔的值尽可能濒临。

静态比拟法

气体微流量表静态比拟法

如图6所示,顺次将真空漏孔流出的气体QL和气体微流量表流出的气体Q,别离引人到一个真空室中,再经过限流孔被真空泵抽走,比拟它们在真空室中产生的静态失调压力输入信号(别离为HL和Hs),而后用式(9)划算出真空漏孔的漏率。

QL=(HL/Hs)Qs (9)

此步骤中,要害技能之一在乎气体微流量表。表1是美国规范技能钻研院(NIST)、德国物理技能钻研院(PTB)和中国LIP的比拟法校准真空漏孔安装的技能指标。

参考漏孔静态比拟法

比拟被校真空漏孔和已知漏率为口,的参考漏孔在检漏仪中的输入信号HL和Hs,用式(10)划算被校真空漏孔的漏率。

(10)

式中H0为检漏仪的本底信号;as和aL别离为参考漏孔和被校漏孔的热度系数;△Ts,和△TL别离为校正点参考漏孔和被校漏孔与参考热度的偏差。那末Qs、和QL无比濒临,则此步骤中最大的误差源来自Qs的量值,因而作为参考规范用的参考漏孔务必定期用气体微流量规范或其余高精度的相对式漏率规范继续校准。这种步骤容易实用,许多漏孔校准试验室都用它对实用型参考漏孔(作为非传.递规范用的参考漏孔)继续校准。

动态比拟法

定量气体动态比拟法

从被校真空漏孔流出的气体在体积V内积攒一段工夫后,会构成一个分压力,用质谱计将此分压力与规范分压力继续比拟,而后可失去真空漏孔的漏率。规范分压力可用动态收缩法或从已知漏率的漏孔流出气体累积而失去。

美国SNL用动态收缩法失掉规范分压力,如图7所示。在小容器V.内充入压力为Pt的校准气体(深浅为C)收缩到大容器V中作为规范压力。历次校正点,用小容器V.从大容器V中取样,而后动态收缩到Vm中,由质谱计测量其分压力信号Hs;再将被校参考漏孔通过工夫△t后在体积V.x。二中累积的气体动态收缩到Vm中,由质谱计测量其分压力信号Hx。最初用下式划算被校参考漏孔的漏率QL

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